Verfahren zur Herstellung eines Films mit Niedriger Dielektrizitätskonstante
EP1642329
Art B1
5. Oktober 2011
Anmelder: Evonik Degussa GmbH, Degussa GmbH, Degussa AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1642329
- Aktenzeichen
- EP04741702
- Anmeldetag
- 2. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 5. Oktober 2011
- Erteilung
- 5. Oktober 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316C09D183/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Evonik Degussa GmbH
Degussa GmbH
Degussa AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Vertreten von
Weber, Wolfgang
Hanau, Deutschland
59
Patente gesamt
13
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
- (deleted)