Verfahren zur Herstellung eines Silicium-Epitaxial-Wafers und Silicium-Epitaxial-Wafer

EP1643544 Art A1 5. April 2006

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1643544
Aktenzeichen
EP04746194
Anmeldetag
21. Juni 2004
Veröffentlichung
5. April 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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