Verfahren und Vorrichtung für eine Quelle für Gleichförmige Beleuchtung
EP1644661
Art A2
12. April 2006
Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1644661
- Aktenzeichen
- EP03764560
- Anmeldetag
- 11. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 12. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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