Verfahren und Vorrichtung für eine Quelle für Gleichförmige Beleuchtung

EP1644661 Art A2 12. April 2006

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1644661
Aktenzeichen
EP03764560
Anmeldetag
11. Juli 2003
Veröffentlichung
12. April 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/88
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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