Verfahren und Vorrichtung zum Kühlen Magnetischer Schaltungselemente

EP1644945 Art A2 12. April 2006

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1644945
Aktenzeichen: EP04776564
Anmeldetag: 14. Juni 2004
Veröffentlichung: 12. April 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01F27/10H01F27/26H01S3/097

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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