Substrat-Träger mit Dynamischer Temperaturregelung
EP1644962
Art A2
12. April 2006
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1644962
- Aktenzeichen
- EP04777208
- Anmeldetag
- 28. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 12. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/306C23C16/00C23C16/46C23C16/505F27D5/00H02N13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Morf, Jan Stefan
NoneMünchen