Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Bauelementeherstellung

EP1646075 Art B1 15. Juni 2011

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1646075
Aktenzeichen: EP04747523
Anmeldetag: 8. Juli 2004
Veröffentlichung: 15. Juni 2011
Erteilung: 15. Juni 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Engineering Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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