Einrichtung und Verfahren zur Oberflächenbehandlung, Wie zum Beispiel Plasmabehandlung

EP1646079 Art A1 12. April 2006

Anmelder: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1646079
Aktenzeichen
EP04746368
Anmeldetag
24. Juni 2004
Veröffentlichung
12. April 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L21/31C23C16/455H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sekisui Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.

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