Auflösungsinhibitoren in Fotoresist-Zusammensetzungen für die Mikrolithographie
EP1646914
Art A2
19. April 2006
Anmelder: DSM IP Assets B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1646914
- Aktenzeichen
- EP04774830
- Anmeldetag
- 21. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 19. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- DSM IP Assets B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
DSM
Niederländisches Unternehmen für Ernährung, Gesundheit und Materialien mit Sitz in Heerlen. Aktiv in Biotechnologie, Spezialchemikalien sowie Inhaltsstoffen für Lebensmittel, Pharma und nachhaltige Materialien. Seit 2023 Teil von dsm-firmenich.
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