Spülgasbefeuchtungsverfahren und Lithographischer Projektionsapparat
EP1646915
Art B1
2. Juni 2010
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1646915
- Aktenzeichen
- EP04757185
- Anmeldetag
- 21. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 2. Juni 2010
- Erteilung
- 2. Juni 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
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