Verfahren und System zur Elektronischen Räumlichen Filterung von Optischen Signalen eines Spektralreflektometers
EP1647049
Art A2
19. April 2006
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1647049
- Aktenzeichen
- EP04777184
- Anmeldetag
- 24. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 19. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01L21/66G01N21/27
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
795
Patente gesamt
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Fachgebiete
14
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