Aufdampfmaterial, enthaltend Ta2Ox mit x = 4.81 bis 4.88, zur Herstellung hochbrechender Schichten

EP1648034 Art B9 14. Juli 2010

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1648034
Aktenzeichen: EP05020190
Anmeldetag: 16. September 2005
Veröffentlichung: 14. Juli 2010
Erteilung: 14. Juli 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/0216C01G35/00C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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