Hydridgasreinigung zur Anwendung in der Halbleiterindustrie
EP1648592
Art B1
6. Juli 2011
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1648592
- Aktenzeichen
- EP04757186
- Anmeldetag
- 21. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 6. Juli 2011
- Erteilung
- 6. Juli 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/28B01D53/62B01D53/50B01D53/56C01B6/34C01B3/56C01C1/02C01B33/04C01B25/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte