Verfahren zum Kalibrieren eines Interferometers, Verfahren zum Qualifizieren eines Objekts und Verfahren zum Herstellen eines Objekts
EP1649241
Art A1
26. April 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1649241
- Aktenzeichen
- EP02791696
- Anmeldetag
- 21. November 2002
- Veröffentlichung
- 26. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02G01M11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Schorr, Frank Jürgen
München, Deutschland
448
Patente gesamt
29
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte