Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Bandbreite eines Optischen Spektrums, das aus einem Hochleistungslaser mit Sehr Kleiner Wellenlänge und Sehr Schmaler Bandbreite Ausgegeben Wird

EP1649243 Art B1 13. März 2013

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1649243
Aktenzeichen: EP04776917
Anmeldetag: 14. Juni 2004
Veröffentlichung: 13. März 2013
Erteilung: 13. März 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G02B9/02G01J1/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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