Optischer Bandbreitenmesser für von einem Laser mit Sehr Schmaler Bandbreite Emittiertes Licht

EP1649244 Art B1 22. Oktober 2014

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1649244
Aktenzeichen: EP04777419
Anmeldetag: 29. Juni 2004
Veröffentlichung: 22. Oktober 2014
Erteilung: 22. Oktober 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G01J1/42G02B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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