Verfahren zur Bildung einer Ritzlinie auf einem Substrat Passiver Elektronischer Komponenten
EP1649557
Art A2
26. April 2006
Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1649557
- Aktenzeichen
- EP04777977
- Anmeldetag
- 9. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 26. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/46H01L21/78H01L21/301B23K26/04B23K26/08B23K26/40B23K26/06H01L21/304H01L21/82B28D5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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