Methode zum selektiven Polieren einer Siliziumnitridschicht
EP1650278
Art B1
30. Dezember 2009
Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1650278
- Aktenzeichen
- EP05256210
- Anmeldetag
- 5. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 30. Dezember 2009
- Erteilung
- 30. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09G1/02H01L21/306H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJIMI INCORPORATED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujimi
Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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Vertreten von
Paget, Hugh Charles Edward
London, Großbritannien
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