Gerät zum Messen der Oberflächenrauhigkeit oder der Kontur eines Objektes

EP1650527 Art B1 2. Januar 2008

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1650527
Aktenzeichen
EP05256082
Anmeldetag
29. September 2005
Veröffentlichung
2. Januar 2008
Erteilung
2. Januar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G01B5/012
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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