Untersuchungsverfahren und Untersuchungseinrichtung für ein Optisches Projektionssystem und Herstellungsverfahren für ein Optisches Projektionssystem

EP1650787 Art A1 26. April 2006

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1650787
Aktenzeichen: EP04748072
Anmeldetag: 23. Juli 2004
Veröffentlichung: 26. April 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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