Verfahren zur Herstellung von Mustern mit Geneigten Flanken mittels Fotolithographie

EP1652009 Art B1 7. März 2007

Anmelder: Mimotec S.A., COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1652009
Aktenzeichen
EP04786375
Anmeldetag
5. August 2004
Veröffentlichung
7. März 2007
Erteilung
7. März 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Mimotec S.A.
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇨🇭 Schweiz
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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