Substratverarbeitungsvorrichtung, Substratverarbeitungsverfahren und Substrathaltevorrichtung
EP1652222
Art A1
3. Mai 2006
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1652222
- Aktenzeichen
- EP04771154
- Anmeldetag
- 28. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 3. Mai 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Vertreten von
Wagner, Karl H
München, Deutschland
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