Verfahren zum Beschichten eines Substrats mit einer Dünnfilmstruktur

EP1652590 Art B1 10. März 2010

Anmelder: Seiko Epson Corporation, SEIKO EPSON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1652590
Aktenzeichen
EP05023372
Anmeldetag
26. Oktober 2005
Veröffentlichung
10. März 2010
Erteilung
10. März 2010
Rechtsraum
EP
IPC
B05D1/26H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Seiko Epson Corporation
SEIKO EPSON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Epson

Japanisches Unternehmen, das Drucker, Scanner, Projektoren sowie Uhrwerke und Sensortechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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