Polymerisierbare fluorierte Verbindung, Herstellungsverfahren, Polymer, Resistzusammenstellung und Strukturierungsverfahren
EP1652846
Art B1
22. August 2007
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1652846
- Aktenzeichen
- EP05256686
- Anmeldetag
- 28. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 22. August 2007
- Erteilung
- 22. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07D309/10C08F20/28G03F7/039G03F7/004
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
4.655 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Watson, Robert James
London, Großbritannien
751
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
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Schwerpunkte