Acrylpolymere und Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung

EP1652866 Art B1 24. Dezember 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1652866
Aktenzeichen
EP04771184
Anmeldetag
4. August 2004
Veröffentlichung
24. Dezember 2008
Erteilung
24. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C08F220/28G03F7/039H01L21/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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