Phosphorhaltige Silazanzusammensetzung, Phosphorhaltiger Siliciumoxidfilm, Phosphorhaltiger Siliciumoxidfüllstoff, Verfahren zur Herstellung eines Phosphorhaltigen Siliciumoxidfilms und Halbleitervorrichtung
EP1652890
Art B1
11. Januar 2017
Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials USA Corp., AZ Electronic Materials (Japan) K.K., Clariant (Japan) K.K. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1652890
- Aktenzeichen
- EP04747118
- Anmeldetag
- 7. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 11. Januar 2017
- Erteilung
- 11. Januar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C08L83/16C01B33/12H01L21/312C09D183/16H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials USA Corp.
AZ Electronic Materials (Japan) K.K.
Clariant (Japan) K.K. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Merck KGaA
Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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Isenbruck, Günter
Mannheim, Deutschland
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