Werkstückverarbeitung durch Gepulste Entladungen in Feststoff-Gas-Plasma

EP1654396 Art B1 22. März 2017

Anmelder: CemeCon AG, Chemfilt Ionsputtering Aktiebolag, Biocell Aktiebolag 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1654396
Aktenzeichen
EP04749165
Anmeldetag
9. Juli 2004
Veröffentlichung
22. März 2017
Erteilung
22. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34H01J37/32C23C14/35H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
CemeCon AG
Chemfilt Ionsputtering Aktiebolag
Biocell Aktiebolag
Land
🇩🇪 Deutschland
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