Halter zum Tragen von Wafern Während der Halbleiterherstellung

EP1654752 Art B1 29. Juni 2011

Anmelder: SGL Carbon SE, SGL Carbon AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1654752
Aktenzeichen: EP04779748
Anmeldetag: 2. August 2004
Veröffentlichung: 29. Juni 2011
Erteilung: 29. Juni 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/00C23C16/458C30B25/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SGL Carbon SE
SGL Carbon AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 SGL Carbon

Der Anmelder ist ein deutscher Hersteller von Kohlenstoff- und Grafitwerkstoffen mit Sitz in Wiesbaden. Das Patentportfolio konzentriert sich auf anorganische Chemie und Werkstoffe sowie auf Heiz- und Kühltechnik, Maschinenelemente, Metallurgie und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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