Vorrichtung zur Messung der Rundheit und der zylindrischen Form

EP1655567 Art B1 13. Februar 2008

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1655567
Aktenzeichen
EP05255686
Anmeldetag
14. September 2005
Veröffentlichung
13. Februar 2008
Erteilung
13. Februar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G01B5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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