Katodenanordnung zur Zerstäubung eines drehbaren Targetrohres
EP1655762
Art B2
3. August 2011
Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Materials, Inc., Applied Films Corporation, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1655762
- Aktenzeichen
- EP05007131
- Anmeldetag
- 31. März 2005
- Veröffentlichung
- 3. August 2011
- Erteilung
- 3. August 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Materials, Inc.
Applied Films Corporation
Applied Films GmbH & Co. KG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Zapfe, Hans
Heusenstamm, Deutschland
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