Verfahren zur Herstellung eines passivierten Halbleitersubstrats

EP1655767 Art B1 22. März 2017

Anmelder: IMEC VZW, IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1655767
Aktenzeichen
EP05447233
Anmeldetag
13. Oktober 2005
Veröffentlichung
22. März 2017
Erteilung
22. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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