Auf Oberfläche von Halbleitern Hergestellte Metallische Nano-Objekte, und deren Herstellungsverfahren

EP1656473 Art A2 17. Mai 2006

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Universite Paris Sud XI, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, Commisariat à l'énergie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1656473
Aktenzeichen
EP03762740
Anmeldetag
4. Juli 2003
Veröffentlichung
17. Mai 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C30B33/00H01L21/02H01L51/05
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Universite Paris Sud XI
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Commisariat à l'énergie Atomique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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