Siliciumcarbid-Epitaxial-Wafer, Verfahren zur Herstellung eines Solchen Wafers und auf einem Solchen Wafer Ausgebildetes Halbleiterbauelement

EP1657740 Art B1 7. Januar 2015

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1657740
Aktenzeichen
EP04771855
Anmeldetag
19. August 2004
Veröffentlichung
7. Januar 2015
Erteilung
7. Januar 2015
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/02C30B25/20H01L21/04H01L29/04H01L29/16C30B29/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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