Transportvorrichtung und Antriebsmechanismus
EP1657743
Art B1
5. Juni 2013
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1657743
- Aktenzeichen
- EP04747644
- Anmeldetag
- 9. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2013
- Erteilung
- 5. Juni 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/677H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Fachgebiete
Kanzlei
Gleiss Große Schrell und Partner mbB
Stuttgart, Deutschland
Stuttgarter Kanzlei, die Patentanwälte und Rechtsanwälte unter einem Dach vereint, registriert beim Deutschen Patent- und Markenamt sowie beim EUIPO in Alicante. Als Vertreter vor dem Einheitlichen Patentgericht zugelassen, mit Auslandsnetzwerken unter dem Motto „Your innovation is in good hands“.
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