MOCVD Vorrichtung und Aufwachs-Methode für Nitrid-Halbleiter

EP1657744 Art B1 20. April 2011

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1657744
Aktenzeichen: EP05024015
Anmeldetag: 3. November 2005
Veröffentlichung: 20. April 2011
Erteilung: 20. April 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/68H01L21/687H01L21/00C30B25/12C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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