Verbesserte Bandbreitenschätzung

EP1658516 Art B1 21. November 2012

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1658516
Aktenzeichen: EP04776567
Anmeldetag: 14. Juni 2004
Veröffentlichung: 21. November 2012
Erteilung: 21. November 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01J1/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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