Methode zur Herstellung Mehrschichtiger Reflektierender Extrem-Ultraviolett-Lithograaphie-Masken-Rohlinge
EP1660941
Art B1
24. Juni 2009
Anmelder: Intel Corporation, INTEL CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1660941
- Aktenzeichen
- EP04778644
- Anmeldetag
- 16. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2009
- Erteilung
- 24. Juni 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Intel Corporation
INTEL CORPORATION - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Intel
US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.
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Vertreten von
Want, Clifford James
London, Großbritannien
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