Mehrfrequenz-Plasmaätzreaktor

EP1661171 Art A2 31. Mai 2006

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1661171
Aktenzeichen
EP04781695
Anmeldetag
20. August 2004
Veröffentlichung
31. Mai 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32// H01L21/311H01L21/467H05H1/46B23B3/10
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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