Elektroden für Fluorgas-Entladungslaser

EP1661216 Art A2 31. Mai 2006

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1661216
Aktenzeichen: EP04778353
Anmeldetag: 16. Juli 2004
Veröffentlichung: 31. Mai 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/038H01S3/097H01S3/225H01S3/22H01S3/223

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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