Material zur Bildung eines Resist-Schutzfilms für einen Immersionsbelichtungsprozess, aus Solchem Material Hergestellter Resistschutzfilm und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur unter Verwendung eines Solchen Resistschutzfilms

EP1662323 Art A1 31. Mai 2006

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1662323
Aktenzeichen: EP04772165
Anmeldetag: 25. August 2004
Veröffentlichung: 31. Mai 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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