Verfahren zur Herstellung eines Soi-Wafers

EP1662555 Art B1 13. April 2011

Anmelder: SUMCO Corporation, Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1662555
Aktenzeichen
EP04772771
Anmeldetag
3. September 2004
Veröffentlichung
13. April 2011
Erteilung
13. April 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L21/324H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SUMCO Corporation
Sumco Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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