Prozess zur Herstellung eines Oxid-Dünnfilms

EP1662556 Art B1 6. November 2013

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1662556
Aktenzeichen
EP04772141
Anmeldetag
25. August 2004
Veröffentlichung
6. November 2013
Erteilung
6. November 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316C23C16/40C23C16/448C23C16/452
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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