Vorrichtung zur Manipulation eines Optischen Elements
EP1664880
Art A2
7. Juni 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1664880
- Aktenzeichen
- EP04764887
- Anmeldetag
- 7. September 2004
- Veröffentlichung
- 7. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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