Euv-Projektionsobjektiv mit Spiegeln aus Materialien mit Unterschiedlichem Vorzeichen der Steigung der Temperaturabhängigkeit des Wärmeausdehnungskoeffizienten Nahe der Nulldurchgangstemperatur
EP1664933
Art A1
7. Juni 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1664933
- Aktenzeichen
- EP03755564
- Anmeldetag
- 27. September 2003
- Veröffentlichung
- 7. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B17/06G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Kanzlei
Lorenz & Kollegen
Heidenheim, Deutschland
Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.
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