Verfahren und System zur Diagnostizierung eines Verarbeitungssystems unter Verwendung einer Adaptiven Mehrvariablen-Analyse

EP1665076 Art A2 7. Juni 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1665076
Aktenzeichen: EP04809545
Anmeldetag: 27. August 2004
Veröffentlichung: 7. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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