Poliertuch, Poliertuchbearbeitungsverfahren und Dieses Verwendende Substratherstellungsverfahren

EP1666202 Art A1 7. Juni 2006

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1666202
Aktenzeichen
EP04773285
Anmeldetag
17. September 2004
Veröffentlichung
7. Juni 2006
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/00H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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