Metallnanoteilchen und Herstellungsverfahren Dafür, Flüssige Dispersion von Metallnanoteilchen und Herstellungsverfahren Dafür, Dünne Metalllinie, Metallfilm und Herstellungsverfahren dafür

EP1666408 Art A1 7. Juni 2006

Anmelder: ULVAC, INC., Jemco Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1666408
Aktenzeichen
EP04787672
Anmeldetag
7. September 2004
Veröffentlichung
7. Juni 2006
Rechtsraum
EP
IPC
B82B1/00B01F17/00B01J19/00H01L21/288H01L23/12H01L23/14H01L29/06B22F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ULVAC, INC.
Jemco Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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