Konstruktion eines Rotors und einer Rotorwelle und Turbomolekularpumpe mit Diesem Konstruktion

EP1666730 Art B1 18. November 2009

Anmelder: Edwards Japan Limited, BOC Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1666730
Aktenzeichen
EP04772365
Anmeldetag
27. August 2004
Veröffentlichung
18. November 2009
Erteilung
18. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Edwards Japan Limited
BOC Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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