Illuminanz-Verteilungs-Bewertungsverfahren, Feststellungsverfahren für Optische Glieder, Optische Beleuchtungseinrichtung, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP1666865 Art A1 7. Juni 2006

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1666865
Aktenzeichen: EP04771172
Anmeldetag: 4. August 2004
Veröffentlichung: 7. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G01M11/02G01J1/02G03F7/20G02B3/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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