Positiv-Resistzusammensetzung und Resistlaminat für einen Elektronenstrahl mit Geringer Beschleunigung und Verfahren zur Musterbildung
EP1666971
Art A1
7. Juni 2006
Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1666971
- Aktenzeichen
- EP04746417
- Anmeldetag
- 18. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 7. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039G03F7/26H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Ohka Kogyo
Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Portal, Gérard
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