Tragesystem und Trageverfahren für ein zu Behandelndes Objekt

EP1667222 Art A1 7. Juni 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1667222
Aktenzeichen: EP04816143
Anmeldetag: 16. September 2004
Veröffentlichung: 7. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/68H04B10/20G05B19/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Steuerungs- & Regelungstechnik

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